设备要具有足够的刚度，塔设备中的塔板、受外压的容器壳体、端盖等都要满足刚度要求；无尘车间设备的主体部分和其他零件，都要由足够的强度（strength)，以保证生产(Produce)和人生安全，一般在设计时常将各零件做成等强度，这样节省(spare)材料，但有时也有意识地将某一零件的承载能力设计得低一些，当过载时这个零件首先***而使整个设备不受损坏。无尘车间是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。

其他系统不只是空调系统,无尘车间系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统,检测标准：1、气流速度及其均匀度检测，这项检测是无尘车间效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘车间工作区的平均气流通度及其均匀性。2、系统或房间的风量检测。3、室内洁净度的检测。

洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时***其原有洁净度的能力。5、气流流型检测。6、噪声的检测。7、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。8、振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘车间各表明的振动幅度。9、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘车间的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘车间中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。10、总风量和新风量的检测。