洁净室属于人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。
净化车间(CleanRoom),亦称为洁净室或清净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。洁净室:温度、湿度、压力(压差)、洁净度、浮游菌、沉降菌受控的空间。两者没有本质的区别,但适用标准、等级有所差异。
早期的工业洁净室早期主流思想就是必须大量使用***使其不含微生物。为便于消毒,墙体使用帖面,地面则用水磨石铺面,并带有排水槽和下水口,以便排出***。通风也很原始,每小时换气仅几次。在室内或在生产区与外部区域之间,还谈不上气流控制。人员穿的棉服衣着与哪个时代***室使用的相似。那时即便有更衣区,也是非常简陋的。
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