设备要具有足够的刚度，塔设备中的塔板、受外压的容器壳体、端盖等都要满足刚度要求；无尘车间设备的主体部分和其他零件，都要由足够的强度（strength)，以保证生产(Produce)和人生安全，一般在设计时常将各零件做成等强度，这样节省(spare)材料，但有时也有意识地将某一零件的承载能力设计得低一些，当过载时这个零件首先***而使整个设备不受损坏。无尘车间是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。

其他系统不只是空调系统,无尘车间系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统,检测标准：1、气流速度及其均匀度检测，这项检测是无尘车间效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘车间工作区的平均气流通度及其均匀性。2、系统或房间的风量检测。3、室内洁净度的检测。

层过滤/纸袋（丢弃式）：4gall(15L)能有效的收集处理可目视粉尘。第二层过滤/加大的布质过滤器（可洗式）：可以保护并延长HEPA过滤器的寿命。第三层过滤/马达保护套：深层过滤，可以保护马达使用寿命。第四层过滤/HEPA或ULPA过滤器：HEPA可有效过滤0。3um微尘达99。99%，适合用在较细微的过滤。HEPA全部经过激光尘埃粒子计数器的检测。ULPA可以有效过滤99。999%的0。12um（相当于人类头发直径的1/960）d大小的粉尘，适用于CLASS1-10级无尘净化环境，***航天局吸尘器。相信懂得无尘车间吸尘器的应该比较熟悉了吧，这样的过滤系统用在百级和千级无尘车间车间里面是不成问题的。

无尘车间与普通的房间在结构上究竟有什么区别呢？通常无尘车间的气流设计工艺为单向气流，无尘车间内生产设备的设计和摆放应充分考虑到气流的方向不被阻碍：既然是洁净室，顾名思义它就是为了控制污染源，提高产品洁净度而设计的高洁净度生产车间。造成污染源的因素有很多，而人的因素是污染的源头，所以对人的行为等控制相对也会严格一些，当然其它因素也是不容忽视的。总而言之，它只是比普通环境更加干净的工作车间，并不会对***造成任何威胁，要保证洁净室的环境必须进行控制，仅靠硬件工作是不够的，外来的污染源头也是我们在无尘车间环境污染控制的重中之重。