质量要求a。本工程地面是水磨石地面（在做自流平前），地面和墙面之间使用一体化马槽，可以保证壁板水平不扭曲，在马槽与地面交接处必须注胶，以防止水或其它液体从隔墙位置渗透。b。对净化装修工程所用材料，零部件应符合设计要求，设计无要求的自购件应达到或部颁标准。岩棉彩钢板应有质保书，性能检测报告，合格证书。c。净化装修前室内空间必须清扫至无积尘，彩钢板和配件应存放在清洁环境中，平整的放在防潮膜上，防止变形。壁板和配件应在清洁环境中开箱启封。不合格或已损坏的产品不得安装。

设备要具有足够的刚度，塔设备中的塔板、受外压的容器壳体、端盖等都要满足刚度要求；无尘车间设备的主体部分和其他零件，都要由足够的强度（strength)，以保证生产(Produce)和人生安全，一般在设计时常将各零件做成等强度，这样节省(spare)材料，但有时也有意识地将某一零件的承载能力设计得低一些，当过载时这个零件首先***而使整个设备不受损坏。无尘车间是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。

洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时***其原有洁净度的能力。5、气流流型检测。6、噪声的检测。7、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。8、振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘车间各表明的振动幅度。9、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘车间的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘车间中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。10、总风量和新风量的检测。

对于无尘车间的构造来讲，照明灯具的成本不会超过总预算的1%，而照明的能源成本与无尘车间的hvac以及制程设备的功率需要相比较可以说是很小的，因此无尘车间的照明焦点便变成适当的照明度，与空气供应系统相互协调，同时对安装在该空间内特定的环境与制程的污染降低。很多无尘车间的表面具有很高的反射性，大部分的天花板，墙面，地板表面均光鲜亮丽，尽管这样，材料颜色的选择仍在考察中，便于改善使用者的环境。在无尘车间的设计结构中，照明系统使用常见的是荧光灯，因其能源，使用寿命长，维护成本低，。