目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。以下是无尘车间需知的净化参数：隔间、吊顶材质、吊顶高度；地坪材质；是否恒温恒湿；是否需要排风；车间总人数多少；车间工艺设备的发热量；等等一系列的参数.

无尘车间内的空气换气次数和空调净化系统的送风量是维持无尘车间内部正压和洁净度的主要内因。无尘车间内的作业人员要严格按照无尘车间的操作要求来工作，无尘车间的门窗的密封要保持完好，人员和物品在进入无尘车间内时都要进过风淋室和货淋室或者是物品传递窗等，与生产无关的人员是严禁进入无尘车间的。无尘车间应定期测试其内部各项指标，如洁净度、送风口的风速、温湿度、正压等，根据测量的结果作出以后维护无尘车间的方案。

 无尘车间送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。发尘量 净化无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内;无尘车间室内装修要求：墙壁和顶棚表面应光洁、平整、不起灰、不落尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗、减少凹凸面。墙、地面相接处做成半径等于50mm的圆角。壁面色彩要和谐、雅致，并便于识别污染物。一般无尘车间需用石膏板时必须用防水石膏板，而对于生物无尘车间由于经常用水擦洗和用消毒液冲洗，即使防水石膏板也要受潮变形，不耐冲洗，所以规定生物无尘车间不应采用石膏板作罩面材料。