真空镀膜机的检漏方法
真空镀膜机厂家查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法,简称检漏,真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的,所以检漏是必不可少的。
通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生,当抽气系统抽气后使真空室内压强降低,外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内,形成真空度降低。
真空镀膜机厂家介绍在检漏的过程中,需求注意一些问题,才能把检漏作业做好。为真空镀膜设备做好检漏作业是很主要的,形成真空度降低的缘由多种多样,咱们要逐个的处理这些缘由,安稳镀膜的作用。
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真空镀膜系统
工艺气体输入系统
工艺气体,如气(Ar)、气(Kr)、氮气(N2)、(C2H2)、(CH4)、氢气(H2)、氧气(O2)等,一般均由气瓶供应,经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀,然后通入真空室。在传感器方面在传感器中,多采用那些电气性质相对于物理量、化学量及其变化来说,极为敏感的半导体材料。这种气体输入系统的优点是,管路简捷、明快,维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况,这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是,减少气瓶占用量,统一规划、统一布局。缺点是,由于接头增多,使漏气机会增加。而且,各涂层机之间会互相干扰,一台涂层机的管路漏气,有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外,更换气瓶时,必须保证所有机台都处于非用气状态。
在OLED显示面板的制造过程中,需要在玻璃基板上进行有机膜层的真空蒸镀,该工作步骤需要在真空蒸镀机内来完成。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。因此,提供一种手套箱蒸镀一体机,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
如何选择真空镀膜设备供应商?
要根据自己的产品***来确定真空镀膜设备制造商的等级,如果你的产品***在中市场,那么你必须选择中的设备,反之,可选中端或中低端的极可,当然,如果资金充足,购买一台中的,性能更加丰富,质量更加稳定的设备是好不过的了。
看看同行业的的公司都在选用哪个公司的真空镀膜镀膜设备,这无疑是风险小的一种选择方式。
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