电子特气管道系统氦检漏方法

特气系统气体管道氦检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

1、内向检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

2、阀座检漏法采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

3、外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

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高纯供气系统

1、净化剂则采用了世界***的净化材料。其特点有吸附深度好，吸收杂质气体量大的特点，纯度可达99.9999%以上;

2、净化器采用特殊结构和装料方法，流速设计合理，气流分布均匀;

3、内外精拉管管路。采用进口卡套式球阀。了气体流经管路的再次污染，一次安装终身使用，真正做到零泄漏及无故障运行。

4、双式结构,开机后一组工作，另一组再生、备用,而且RZ-YA-C系列半自动纯化装置工作和再生都自动进行,故能够连续供气,一台能顶单式的两台使用。

保证气体纯度。通过大型的储罐( 液压) 和输送管道将载气输送给仪器，在储罐出口安装有单向阀，可避免更换储罐时空气或水分混入，另外，还可在高压段之后安装有泄压开关球阀，将多余的空气或水分排放，从而保证气体的纯度。

安全性提高。一般瓶装气体的充气压力大于或等于 14MPa/cm2，集中供气可根据需要降低系统压力，而且远离实验区域，提高了使用的安全性。不应在封闭空间内用惰性气体（如氮气、二氧化碳等）进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。另外，集中供气可将空气压缩机安放在供气室内，减少压缩机产生电火花带来的安全隐患，并可避免噪音对实验室的干扰。