大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。艾明坷科技有限公司主营手套箱，如需了解更多详情,欢迎与我们交流。它们的***规模巨大，采用1***的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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高纯供气系统

1、高压波纹软管 ：外表不锈钢金属网内衬PTFE材质，长度1米以上，通径大于6MM。一端符合标准钢瓶的连接型号，另一端连接自动切换系统。承受大于3000PSI。其特性为：洁净光亮、柔软、防腐。

2、低压报警器 ：低压报警器多触点可模拟数据输出型，报警器可蜂鸣闪光同时显示报警气体的名称。防爆接线、信号模拟和自动切换系统汇流排相匹配。

3、减压阀 ：316L不锈钢材质。一级减压阀进气压力0-200bar，出气压力0-16bar;二级减压阀进气压力0-16bar,出气压力0-6bar。进出口接口1/4” FNPT螺纹，压力表接口1/4” MNPT螺纹。

高纯气体，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。电子特气管道系统氦检漏方法特气系统气体管道氦检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体。而对于氧气，纯度为4个9即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。氧气是无色，无味，***，不燃的气体，是强氧化剂，能助燃，它与可燃性气体按一定比例混合后容炸。压缩氧气与油脂接触，温度超过油脂燃点时可发生自燃，因此，在与氧气接触的地方，只能使用经过认可的材料。