大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。特种气体气瓶存放区应比较干燥，并有良好通风，严禁明火和其它热源，严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁吸烟，气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。它们的***规模巨大，采用1***的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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特种气体钢瓶在运输和储存的注意事项

由于特种气体产品的潜在***性，如氧气遇油脂着火，气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶，惰性气体引起窒息等等。所以在气体使用、搬运及储存中应注意的一些安全事项。

气体钢瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸，严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。              

使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上，并清洁连接软管。不同气体的气瓶使用时不要使用同一个减压阀。

不应在封闭空间内用惰性气体（如氮气、二氧化碳等）进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。  

烧焊时，应对气体及电气采取适当的保护措施。不要使用损坏的设备，如软管、电缆及焊枪等。              

特种气体气瓶存放区应比较干燥，并有良好通风，严禁明火和其它热源，严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁吸烟，气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。

在储存、运输及使用杜瓦罐时不能使其卧倒，应永远使杜瓦罐保持直立状态。 

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高纯供气系统

气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架，柜门、侧板采用金属冷轧板，均用环氧树脂粉沫喷涂，内设可活动的气瓶抱箍，便于气瓶的更换和移动。电子特气系统的维护由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要***、有经验的技术员完成。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构，可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体***时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇，使空气流通顺畅，保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔，如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗，尺寸按照排气量比例关系计算。