脉冲离子氮化炉电话
作者:丰热科技2021/11/8 3:17:46







湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

在运行的射频辉光放电等离子体中,由于离子和电子迁移率的不同将导致阴极负偏压的形成,在阴极表面建立一个直流负偏压是进行射频溅射工艺的必要条件。两个面积相等的电极置于射频辉光放电等离子体中,不可能建立阴极靶表面的负偏压,不可能产生溅射。

1992年,Roth小组在5mm氦气间隙实现了APGD,并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了APGD, 主要的实验条件为湿度低于15% 、气体流速50l/min、频率为3kHz的电源并且和负载阻抗匹配。他们认为“离子捕获”是实现APGD的关键。若半周期内多个电流脉冲,并且Lisajous图形为斜平行四边形,则为丝状放电。

2003年,***自然科学基2金委2员会将“大气压辉光放电”列为******研究项目。APGD的研究也取得了一些进展,如He、Ne、Ar、Krypton惰性气体在大气压下基本实现了APGD,空气也已经实现了用眼睛看上去比较均匀的准“APGD”。该辉光离子渗氮炉包括内隔热屏,在内隔热屏内壁上装有发热体,发热体与电极间采用螺栓联接,发热体与内壁由陶瓷绝缘体隔离绝缘,绝缘体由螺栓固定在隔热屏内壁上。


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