清洁车间竣工检验的主要试验内容一般应包括以下试验：（1）气流目视检查; （2）风速和风量测试; （3）空气滤清器泄漏检测; （4）洁净室（区）气密性试验; （5）房间之间的静压差测试; （6）空气洁净度; （7）产品生产工艺要求，应进行微生物试验或化学污染物试验或特殊表面清洁试验; 8）自洁时间; （9）温度，相对湿度; （10）照度值; （11）噪音水平; （12）建筑商需要进行的其他测试项目。1条洁净厂房设计必须贯彻执行***的有关方针政策，做到技术***、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。

如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，通风和空调（HVAC），过程冷却，压缩空气和一些其他设施。 HVAC系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和HVAC容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始***，而不管后期的运营成本。（7）产品生产工艺要求，应进行微生物试验或化学污染物试验或特殊表面清洁试验。的设计和的设备需要大量的前期***。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。

洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流***型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。　　

洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。

洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。