清洁车间竣工检验的主要试验内容一般应包括以下试验：（1）气流目视检查; （2）风速和风量测试; （3）空气滤清器泄漏检测; （4）洁净室（区）气密性试验; （5）房间之间的静压差测试; （6）空气洁净度; （7）产品生产工艺要求，应进行微生物试验或化学污染物试验或特殊表面清洁试验; 8）自洁时间; （9）温度，相对湿度; （10）照度值; （11）噪音水平; （12）建筑商需要进行的其他测试项目。关于车间的地面??1地面采用pvc防静电地板，PVC防静电地板十分柔韧，结构均一，由表面涂有特殊导电液体的彩色聚氯乙0烯PVC片组成，并经过静态压挤制成坚实的PVC块永0久导电，表面低静电压，不吸附尘埃，规格统一，图案精美，颜色持久。

如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，通风和空调（HVAC），过程冷却，压缩空气和一些其他设施。其三、洁净度与换气次数设计：房间的洁净度取决于单位时间的换气次数，因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工要求，再决定净化系统的技术参数。 HVAC系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和HVAC容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始***，而不管后期的运营成本。的设计和的设备需要大量的前期***。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。

洁净厂房位置选择和总平面布置

　　.条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。

　　第2.条洁净厂房为大的频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。第3.1.4条洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。