洁净车间试验1.在洁净车间的工程验收中，净化空调系统应在正常运行24小时以上，然后再进行各种性能试验。实现稳定的操作。 2.测试仪器应由具有相应资质的单元校准，并在校准的有效期内进行校准。 3.洁净室试验应根据项目的验收阶段分阶段进行。二、压力和气流设计：为了保证房间的洁净度，必须防止外面污染气流进入室内，要达到这个目的，房间里必须保持正压，为了获得所要求的房间压力，必须补充适当的新鲜空气。竣工验收阶段的检验确认设施符合工程设计和合同的要求;功能验收阶段的检查确认所有设施都能有效可靠地运行;验收阶段的检查基于构造函数指1定的生产过程。 “动态”活动需要确认设施的有效和可靠运行。

如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，通风和空调（HVAC），过程冷却，压缩空气和一些其他设施。 HVAC系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和HVAC容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始***，而不管后期的运营成本。的设计和的设备需要大量的前期***。洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。

洁净厂房位置选择和总平面布置

　洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：

　　　　一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；

　　　　二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和***气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于其为大商务频率风向上风侧，或全年为小的频率风向下风侧；

             三、应布置在厂区内环境清洁、人货流不穿越或少穿越的地段。