净化厂房原理　　

气流—初效空气处理—空调—中效空气处理—风机送风—净化管道—送风口—洁净室—带走尘埃—回风夹道—新风。

不同等级设计参数：　　

换气次数：十万级10-15次/小时；万级15-25次/小时；千级50-52次/小时；百级操作台断面风速0.25-0.35m/s

压差：主净化车间对相邻车间≥5Pa

温度：冬季＞16℃±2℃；夏季＜26℃±2℃；

相对湿度：45－65％（RH）；噪声≤65dB（A）；

新风补充量：总送风量的20％－30％；

照度：≥300Lux。

如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，通风和空调（HVAC），过程冷却，压缩空气和一些其他设施。 HVAC系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和HVAC容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始***，而不管后期的运营成本。的设计和的设备需要大量的前期***。c、原物料进无尘车间时，需先在外面拆箱及拭净，并置于货物风淋室携入无尘车间。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。

洁净车间设计须知：

　   一是、辅助设备：必要时还得安置一些辅助设备，如新风口的空气指示仪，隔断上的传递窗等，这些设备必须适合房间的要求，并且必须真正了解其功能。

　　二是、设计方案：要确定设计方案，必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑，发尘量大的车间不宜采用地面送风形式，洁净度要求高的车惮应尽可能远离其它车间。

洁净厂房位置选择和总平面布置

　洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：

　　　　一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；

　　　　二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和***气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于其为大商务频率风向上风侧，或全年为小的频率风向下风侧；

             三、应布置在厂区内环境清洁、人货流不穿越或少穿越的地段。