进入无尘车间之程序

a、踏上换鞋区入口之地板前，必须先将外鞋脱下。

b、外鞋置于鞋柜之中，进入换衣区换穿无尘衣，依规定进入空气风淋室作空气浴

c、空气洗净室内，不可超过6个人同时进入。

d、为避免影响空气正常循环及除尘效果，人员不可倚靠在空气风淋室的门或墙上。人员必须站立于空气洗净室***踏脚板上轻微摇动双手旋转360度，以帮助灰尘掉落。

e、风嘴方向正常应是向下吹气，请勿随意拨弄调整好的风嘴方向，以求达到大的除尘效果。

f、头发必须盖在头罩之内，必要时可使用发罩。

g、口、鼻必须盖在口罩之内：口罩使用后即应丢弃，不可重复使用；头罩下摆必须完全扎入无尘衣之衣领内。

h、无尘衣穿着程序： (1)头罩 (2)无尘衣 (3)防护鞋（若用临时鞋套时，则需先穿鞋套）。当穿上无尘衣时，识别证必须挂在无尘衣外。

如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，通风和空调（HVAC），过程冷却，压缩空气和一些其他设施。 HVAC系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。振动控制洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。大量浪费的电力和HVAC容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始***，而不管后期的运营成本。的设计和的设备需要大量的前期***。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。

总则

　　.0.1条洁净厂房设计必须贯彻执行***的有关方针政策，做到技术***、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。

　　.0.2条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以***为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。

　　.0.3条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。

　　.0.4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。

　　.0.5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的***标准、规范的有关要求。