应进行洁净室的试验压差试验,以测试洁净室(区域)与周围环境之间的静压差。静压差试验应在洁净室(区)的风速,风量和供气均匀性合格后进行。为了确认洁净室(区域)的气流模式和气流方向,在上述检测达到要求之后执行1气流模式检测。要检查安装的空气过滤器的泄漏情况,测试洁净室(区域)中空气过滤器的完整性和安装质量,在安装的空气过滤器的上游侧引入测试气溶胶,并立即在供气口和过滤器扫描泄漏检测在设备周边,外框和安装框架之间的密封处进行。泄漏测试可以在“空状态”或“静态”下执行。为了确认洁净室(区域)的气流模式和气流方向,在上述检测达到要求之后执行1气流模式检测。
洁净车间设计须知:
一、给排水和送风装置及电源设计:根据所要运行的车间,提供必须的给排水装置,送风装置和电源,这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计, 同时不得有碍于空气净化系统。
二、材料选用:作为洁净室顶棚,墙面和地板的材料必须是不宜破1裂,不易沾颗粒,以及几乎不起尘的材料,另外根据房间不同的工作条件,还必须考虑材料的化学业性能是否稳定。
洁净厂房位置选择和总平面布置
洁净厂房位置的选择,应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定:
一、应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域;
二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和***气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时,则应位于其为大商务频率风向上风侧,或全年为小的频率风向下风侧;
三、应布置在厂区内环境清洁、人货流不穿越或少穿越的地段。
振动控制
洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的管道,应采取积极隔振措施。
对洁净厂房内外各类振源,应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制,也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较,以确定对其采取必要的隔振措施。
精密设备、精密仪器仪表的隔振措施,应考虑减少发生量、保持洁净室内合理的气流***等要求。当采用空气1弹簧隔振台座时,应地气源进行处理,使其达到洁净室的空气洁净度等级。
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