催化燃烧采用不同种类的催化剂，可以降低反应的活化能，使VOCs能够在较低的温度下完全氧化成CO2和H2O。一般来说，当温度控制在300℃～450℃范围内时，大部分烃可被氧化，其去除率可达95%。

直接燃烧是指在高温下通过氧化和热分解法降解燃烧室内的***VOCs，将***VOCs气体输入燃烧室..在高温，空气充足等客观条件下，使***废气充分燃烧，完全分解为CO2和H2O..该方法对高浓度VOCs废气处理效果较好，但相应的温控要求很高，会产生HCl，SOx，NOx等***气体，造成二次污染。

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工业废气处理设备是如何设计的？各类工业废气处理设备的共同特征是将气体中的污染物分离出来或转换成无害的物质，从而达到净化废气的目的。目前常用的工业废气处理设备技术如除尘、吸收、吸附、催化、冷凝等，都属于单元操作，而对这些单元操作的研究发现，其共同规律和内在联系就在于三传理论。因而，气体的动量传递、热量传递、质量传递和化学反应工程是工业废气处理设备设计的基本理论。  


光氧催化技术能彻l底分解工业废气中的毒l害物质。工业废气处理的过程大体是：恶臭气体利用排风设备输入净化设备，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应。这会使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水、二氧化碳，再通过排风管排出室外。经工业废气处理可完全达到无害化排放，避免二次污染，同时可起到高l效消毒l杀菌的作用。