气体质量流量控制器应用领域

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过？

可以使用惰性气体接到MFC进气端，然后将出气口接一根软管再通进水里，如果软管口有气泡冒出，证明MFC是有气体通过的，不过需要注意防止液体倒吸进MFC内，也可以用手将出气口堵死，观察瞬时流量是否有下降，如果有下降，也证明有气体通过，此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。

压力对于气体质量流量控制器影响有哪些？

市面上的热式气体质量流量控制器的耐压主要分为：10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要为差压式(也称节流式) 流量计是基于流体流动的节流原理，利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要为热式流量计，热式流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式流量计有两个温度传感器被置于介质中时，其中一个传感器被加热到环境温度以上的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。

气体质量流量控制器特点

利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术，能实现微小流量测量和控制，其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿，广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氮气等气体的检测和控制