气体质量流量控制器的密封材料如何选择？

质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。

质量流量控制器能用比例阀代替吗？

不可以的，一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀，虽然可以起到一定的流量调节作用，但无法做到准确，稳定的流量控制，而气体质量流量控制器（MFC）是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流，是可以实现准确、稳定的流量控制，并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号，比例阀根本满足不了MFC能起到的作用。

压力对于气体质量流量控制器影响有哪些？

市面上的热式气体质量流量控制器的耐压主要分为：10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要为差压式(也称节流式) 流量计是基于流体流动的节流原理，利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要为热式流量计，热式流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式流量计有两个温度传感器被置于介质中时，其中一个传感器被加热到环境温度以上的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。

气体质量流量控制器显示方式有哪些

1、 分体二次数显仪表。采用按键式的操作方式，测量的精度高，多款外形尺寸可选，双四位的LED显示，支持电流、电压的输入方式，可带多个控制点、多窗口显示，适用于流量等过程量的监测，是一款非常高的产品。   

2、 本体触摸按键显示。在流量计本体即可进行流量大小的调节与显示，除了具有精度等级高，线性精度好以外，操作简单、便携也是本产品的一大主要特点。  

3、 触摸屏显示操作。这是一种智能化、自动化的操作方式，适合多气路以及产品的集成，一键启动，人机界面，具有灵敏的反应速度、易于交流、坚固耐用、节省空间等优点,是目前便捷、简单、自然的一种人机交互方式,用户只需用手指轻轻一点显示屏上的图标或文字就能操作,给人们的生活带来了很大的方便。