常见类型

超声流量计，通过检测流体流动对超声束（或超声脉冲）的作用以测量流量的仪表。

电磁流量计，电磁流量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。电磁流量计有一系列优良特性,可以解决其它流量计不易应用的问题,如脏污流、腐蚀流的测量。

热式流量计，热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

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旋进涡轮流量计

当流体通过螺旋形导流叶片组成的起旋器后，流体被强迫围绕中心线强烈地旋转形成旋涡轮，通过扩大管时旋涡中心沿一锥形螺旋形进动。在一定的流量（雷诺数）范围内，旋涡流的进动频率与流经旋进涡流量传感器处流体的体积流量成正比。旋进旋涡流量计的理论流量方程为：

式中，qf为工况下的体积流量，m3/s；f为旋涡频率，Hz；K为流量计仪表系数，P/m3（p为脉冲数）。

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选择气体流量控制器时需要注意什么？

例如，真空等离子清洗机需保证真空反应腔体内的压力稳定，所以选择好气体流量控制器后，还需注意气管接头的挑选。通常我们会选用快拧接头或卡套接头作为气体流量控制器的气管接头，以此来满足工艺气体真空管路的密封。真空等离子清洗机在处理一些特殊材料的时候，可能会把液态单体作为放电介质，就必须使用手动浮子流量计作为流量控制器；对于腐蚀性单体则需使用防腐型的浮子流量计；对真空环境要求比较苛刻的，建议使用高密封性的浮子流量计。如需对液态单体进行流量监控，也可增加气液流量计，但需考虑单体的测量元素、沸点、冷凝点等因素，可视情况进行选择。

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