智能气路系统功能模块
根据不同研究方向需求不同,智能气路系统可以实现以下基本功能模块:
气体流量单独控制:用户可通过屏幕上显示的气路原理图直接设定内部质量流量控制器(MFC)流量,设定范围为2%-F.S.
电磁截止阀单独控制:用户可通过屏幕上显示的气路原理图直接控制电磁截止阀关断/开启
自动分段进气功能:按照客户给出的流量设定值及时间长度自动完成分段进气,客户可针对流量实现二次编程,自动进气
压力报警和处理:配合压力传感器及电磁阀的联动,用户可自定义设定压差上限与下限,实现压差上限下限报警或关断功能,保护实验结果和气路系统
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基本功能模块
数据分析及导出 :所有数据可按照用户设定的时间段进行导出,方便实验数据分析
实时曲线图,历史曲线图 : 简单直观查看历史曲线和实时曲线,方便过程监控
自动浓度配气 :针对配气实验需要,可实现浓度自动换算,或根据浓度值自动分配流量
MFC故障诊断:针对不同型号的MFC可实现故障诊断、报警、处理等功能。
自动吹扫:根据用户需要,自动设定吹扫时间及吹扫方式
自动检漏 :可通过截止阀的联动,配以一定算法,实现自动检漏功能
以上内容由晓韬科技为您提供,今天我们分享的是智能气路系统的相关内容,希望对有需要的朋友能有所帮助!
气体混配器技术特性
采用动态气体混合法,具有即混即用的特点,使气体混合更均匀
在额定范围内输入压力的波动,以及输出流量变化,配比精度保持不变
配气过程直观,调整便捷
为纯机器结构,使用寿命长,安全可靠
体积小巧、重量轻,携带和使用方便
气体混合精度高,可达±0.05%
可实现双元或多元气体同步混合
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气体管路要求
所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端,对气体纯度要求不是太严格的地方。(比如通风柜)。气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。易1燃气体需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.5M;交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。
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