质量流量控制器简介

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使用范围： 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。

特点：流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小。

质量流量控制器的常见问题

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实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。

假设某台MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量。

因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。

质量流量计的测量原理

质量流量计是采用感热式测量，通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。质量流量计是一个较为准确、快速、可靠、、稳定、灵活的流量测量仪表，在石油加工、化工等领域将得到更加广泛的应用，相信将在推动流量测量上显示出巨大的潜力。质量流量计是不能控制流量的，它只能检测液体或者气体的质量流量，通过模拟电压、电流或者串行通讯输出流量值。但是，质量流量控制器，是可以检测同时又可以进行控制的仪表。质量流量控制器本身除了测量部分，还带有一个电磁调节阀或者压电阀，这样质量流量控制本身构成一个闭环系统，用于控制流体的质量流量。质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流，或者计算机、PLC提供。

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质量流量计的测量

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质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。

质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。

直接式质量流量计有多种类型，如量热式、角动量式、陀螺式和双叶轮式等。