洁净厂房的竣工验收合格，并经核实批准后，按要求进行功能验收，功能验收是在“静态”进行测试，其主要测试内容如下：

1 检测空气洁净度等级;

2 生产工艺有要求者，还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;

3 洁净室(区)的温度、相对湿度的稳定性测试;

4 检测自净时间;

5 检测洁净室(区)的密闭性测试;

6 测定照度;

7 测定噪声级;

8 需要时，确认和记录气流形式和换气次数;

9 其他需要进行的其他检测项目。

对于半导体工业而言，无尘室是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除地板所用者大部分为消毒的***及化学***，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。

电子洁净厂的设计必须符合相关的工艺标准，当然，在实际的设计过程中，它们的要求也是不同的。层流***室***室是采用空气洁净技术对微生物污染采取程度不同的控制，达到控制空间环境中空气洁净度适于各类***之要求；并提供适宜的温、湿度，创造一个洁净舒适的***空间环境。由于***室要严格控制低***数及低嘛醉气体浓度，所以层流超净装置的稳定性是层流净化***室的重要验收指标。