




然而对于大部分洁净空间,为了防止外界污染***,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应
符合以下原则:
1、洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
2、相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
3、洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

无尘车间-洁净厂房的竣工验收,是在各分部单机试车,无生产负荷系统试车自检合格后进行。竣工验收的内容是对各分部工程的单机试车和无生产负荷系统试车的核查,洁净室(区)性能参数检测和调试、各分部观感质量核查,按要求进行功能检测和调试。
洁净厂房竣工验收时,应认真检查竣工验收的资料,一般包括下列文件及记录:
1 图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图;
2 各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告;
3 各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录;
4 各分部单机试运转记录;
5 各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录;
6 各类管线试验、检查记录;
7 各分部工程的安全设施的检验和调试记录;
8 各分部工程的质量验收记录。

无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体Fabs倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。在制药和生物工学工业,无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止滤过性的病毒或***的污染之特性。在biotech市场,清洗真正地是一个很重要的企业。

对无尘室C/R而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中很重要的为天花板,其包含HEPA及ULPA等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间,曾有人说:若建造之预算因某种原因被限制,除了少数的小钱外,其天花板将趋于更贵的地步,其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子,故其设计必须准确。

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