集成电路生产洁净室通常有高纯度气体管道

在食品厂的设计装修中，洁净室中的管道种类，除设有通常在一般厂房内设置的消防管道、冷却管道、生活管道、排水管道、一般压缩空气管外，通常还根据食品厂各类洁净室内产品品种、产品生产工艺的不同，要求供应各种类型、各种等级的气体、液体、***作为原料、防护介质或清洁剂或清洗置换介质等，经常与产品直接接触，因此要求供应无污染、杂质含量极微量的流体。集成电路生产洁净室通常有高纯度气体管道，包括高纯度普通气体(或大宗气体)，如H2、N2、O2、Ar、He等。

常用高纯气体管道应根据所输送的不同的气体和用途选用不同品种的奥氏 体不锈钢管，尽量不用铜材质造的管道，按纯度要求≥99.9999 应采用不锈钢 管。≥99.99 宜采用不锈钢管。＜99.99 可用无缝钢管。气体终端纯化装置入 口侧的高纯气体管道一般选用 0Cr18Ni9，0Cr19Ni10 有缝或无缝不锈钢管，但 对于不经过气体终端纯化处理而直接通往用气点的高纯气体管道宜采用无缝 不锈钢管。气体终端纯化装置出口侧的超纯气体管道及掺杂气体的管道一般选 用 0Cr17Ni11M02，1Cr18Ni11Nb 无缝不锈钢管道。接至工艺设备的管道应选用 不锈钢管或不锈钢波纹管道。不能使用聚四氟乙烯管或其他软管。

管道的连接应采用的成型管接头，三通弯头等进行套管焊接，对于不 锈钢管必须采用弧焊打底，施焊时在管内通入气（以高纯度为好），其 管道附件的制作材料应与其配管材料相同。 管道与设备、阀门的连接应视具体情况采用法兰、螺纹、卡套或其他密封 性能优良的连接方法，且螺纹连接宜采用锥螺纹连接为好，这种连接方式，不需 要密封垫，但必须在螺纹部分涂上密封剂后方能拧上，不能使用密封带。采用 平螺纹连接时，必须加密封垫，其密封性亚于锥螺纹连接方式。

管子的切割不得使用氧炔焰，可采用手工活机械切割，切口应与管轴线垂 直。管切口表面平整不得有裂纹。不锈钢管道粘有大量油脂类灰尘，应放入清 洗槽清洗，油管道须按设计要求进行脱脂处理。脱脂方法：脱脂溶剂采用蒸馏乙醇。管道外表面脱：用浸有溶液的抹布擦抹，然后自 然风干。管道内表面脱脂：将溶液灌入管段内，灌入量占管段体积 70%，将管 段两端堵严，水平放置 10-15 分钟，每 5 分钟滚动一次，滚动 3-4 次，倒出溶 液，用氮气吹干，吹至无溶液气味为止。继续自然放置 24 小时然后用木塞将 管道两段堵严备用。