适用于各种材料的非接触式三维表面分析NanoFocus测量系统能够快速、有效地对几乎所有材料——从金属、玻璃、陶瓷、半导体、聚合物到有机材料——进行三维表面分析。共焦技术能够测量各种表面反射特性的材料并获得有效的测量数据。采用NanoFocus技术的μsurf、μscan和μsprint能够在生产和加工的不同阶段对敏感表面进行无损测量，透明涂层表面和层厚也可以同时测量。

无需样品制备即可在几秒钟内获取真正的3D数据，进而对表面进行定性和定量的评估。NanoFocus为测量数据的分析提供了强大的综合软件解决方案以便确定相关参数。

三维表面测量仪是一款用于实验室研究和生产控制的高分辨率光学测量仪，它将形貌测量和粗糙度测量地结合在同一个系统中，垂直分辨率达10nm。　　三维表面测量仪是通过发射激光来扫描被测物，以获取被测物体表面的三维坐标。具有率、高精度的测量优势。三维表面测量仪使用冷光源系统，可以避免容易变形的工件在测量是因为热变形所产生的误差，并避免了由于碰触引起的变形。不受零件表面纹理和材质影响的高度方向的精密测量，实现真正的非接触式的3D测量。使得微细制造的零件在测量高度、平面度及空间角度等位置关系方面成为可能，并且具有高可靠性的测量准确性和重复性；批量的产品数百数据可以通过按一个按钮实现自动测量和自动输出结果，改变传统的依靠经验的手动测量方式，使自动测量的重复性控制在微米级，大程度地提高检测水平，促进制造品质的提高。


三维表面测量仪优势：在测量部件复杂，测量面陡峭和测量材料属性多样的情况下，InfiniteFocus G4亦可实现高分辨率测量。这同样适用于光面部件或者小半径和小角度的形貌。每个测量都提供了储存到3D数据的颜色信息。　　三维表面测量仪主要特点：　　1、能够同时测量形貌和粗糙度　　2、能够测量小半径和小角度　　3、能够测量超过80°的斜面　　4、标准真实的颜色信息　　5、提供360°的形状和粗擦度测量　　6、检测具有不同表面特征的表面