微孔加工

是传统加工里面很难的技术，其介于传统加工和微细加工之间。在很多***的研究室里，都有这方面的研究。虽然激光可以用来加工直径很小的孔，但是，如果用激光的话，会是一个喇叭口一样的微孔；残渣多。

用电火花是不错的选择，小可以加工0.15mm直径的微孔，但是，其微孔孔壁会留下再铸层，从而影响微孔的使用寿命，使得微孔的孔壁表面质量发生恶化；

用机械钻孔的化，其1，钻头非常容易断，其2，在微孔的出口处会留下毛刺，这种毛刺会影响使用效果。

这些微型小孔只有在高倍显微镜下才能看到，许多微小型钻孔的决定因素也类似于标准尺寸的钻削加工。载玻片多用于实验室生物研究，通常这类微孔对孔径精度要求较高，客户要求定制。每当对一项新任务进行评估时，National Jet公司首先必须确定为有效的孔加工方法。这很大程度上还得根据加工零件种类、内孔直径、几何形状、尺寸精度要求和深度、加工零件的批量大小，以及原来采用的加工方法等。      装有显微镜的手控机床经常被用于科研项目、小批量生产或只需要少数的微小孔加工。一些致力于微小孔加工机床开发的制造商，大多提供是手控式机床，这一加工方法要追溯到上世纪的三十年代。

直径0.1mm小孔电火花加工

电火花能加工任何导电材料的各种不同截面形状的小孔,小孔径或槽宽可达5μ，尺寸精度可达2μm，表面粗糙度达Ra0.32μm，电火花小孔磨削可达Ra0.08μm，加工微小孔时电极与工件间无任何的机械力作用，所以可加工薄壁、弹性件等低刚度零件，也可在斜面上加工，还可加工一些弯孔。在生物学上，可作为固定化酶的载体，使酶保持稳定的催化活性，使生***工的工艺过程实现连续化与自动化。但是，电火花加工的速度极低，加工的成本比较高，用于加工小孔的电极铜工的制造难度较大，其电极铜工的装夹和校准也相当困难，对于批量生产难度很大，只能针对数的小孔。

加工方法探索

针对此难题，前期进行了如下探索：

（1）定制加长钻头：先后定制了加长的高速钢钻头、合金钢钻头10余把，由于钻头本身韧性有限，钻削热量不易散发，排屑空间小、易堵塞，在加工过程中钻头极易折断，即便是进给量控制得非常微小也无法保证。

（2）采用激光打孔技术：利用激光打孔机加工此深腔小孔，结果测量发现小孔的圆度较差，关键问题是利用激光打孔机加工必须要二次装卡，基本不可能保证深腔小孔与凸台形密封面同轴度φ 0.01mm的要求。