微孔加工

零件的材质对加工方案的选择影响重大，有些特殊材料，如蓝宝石，由于其高硬度，激光加工是其较好的选择。

现有的机械加工技术在材料上打微型小孔是采用每分钟数万转或者几十万转的高速旋转小钻头加工的，用这个办法一般也只能加工孔径大于0.25毫米的小孔。在今天的工业生产中往往是要求加工直径比这还小的孔。比如在电子工业生产中，多层印刷电路板的生产，就要求在板上钻成千上万个直径约为0.1～0.3毫米的小孔。显然，采用刚才说的钻头来加工，遇到的困难就比较大，加工质量不容易保证，加工成本不低。早在本世纪60年代后，科学家在实验室就用激光在钢质刀片上打出微小孔，经过近30年的改进和发展，如今用激光在材料上打微小直径的小孔已无困难，而且加工质量好。打出的小孔孔壁规整，没有什么毛刺。打孔速度又很快，大约千分之一秒的时间就可以打出一个孔。有大孔（D﹥100mm）、普通孔（D＝10～100mm）、小孔（D＝1～10mm）和微孔（D＜1mm的孔）。

蚀刻也称光化学蚀刻,指通过***,显影后将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时触摸化学溶液,运用两个阳形通过从两面的化学研磨抵达溶解的作用,构成凹凸或许镂空成型的作用。蚀刻是很有针对性的，是指受控腐蚀，是金属通过化学方法进行一种可以控制的加工方法。跟着电子科技的发展，越来越多需求许多调集形状杂乱、精细度要求高而机械加工难以实现的超薄形工件。而化学蚀刻方法却易抵达部件平整、刺、图形杂乱的要求，且加工周期短、本钱低。它的化学原理是使用三氯化铁水溶液作为腐蚀剂与金属反应。激光打孔机，是利用激光束在空间和时间上的高度集中，可以将光斑直径缩小到微米级从而获得很高的功率密度，几乎可以对任何材料进行激光打孔。

设计钻削刀具装卡装置，增加钻头的刚性。钻削刀具装卡装置采用包裹式结构，减少钻头的部分（见图3），以提高钻头刚度和强度。并设置切削液流道，借助一定压力切削液的作用促使切屑强制排出，达到排屑和冷却的目的。改进钻削刀具。为保证深腔小孔的表面粗糙度要求，需要麻花钻粗加工后，用铰刀进行精加工。为提高铰刀韧性、防止加工中铰刀的损伤，采用齿数减半的方式，对铰刀进行改进，减小了进给量，增大了排屑和容屑空间，具有韧性好、散热好和排屑好的优点。实现手动进给钻削，有效减小钻头折断的可能性。设计有钻套，可以实现手动进给钻削。即使加工设备非常精密，也是机械式的进给，无法反馈切削力度，而靠手工进给，则能控制合适的进给量，一旦感觉切削力过大或者有钻偏的迹象，马上退回钻头。钻套与工装本体配合间隙控制在0.005mm以内，对深度较深的小孔加工尤为有效。孔加工是半封闭式切削，排屑、热量传散、切削液冷却都困难，特别孔深加工难度更大。此种方法可以在车床上加工φ 0.2mm小孔。

精密小孔激光打孔机微孔加工

精密小孔激光打孔机采用激光器，激光聚焦CCD同光路电视监视，电子十子叉丝对准，放大倍数400倍，精密四轴运动工作台和工业控制计算机系统组成。精密小孔激光打孔机更短的波长，超小的激光焦点可对0.001mm微孔加工。精密激光打孔烧蚀区少，孔内壁光滑，装夹方便，打孔速度快，长期工作。目前一般采用多脉冲法，其特点是可使工件上能量的横向扩散减至，并且有助于控制孔的大小和形状。