无尘车间洁净度测试标准

送风量与排风量：如果是紊流洁净室，那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室，则要测量其风速。

各区之间的气流控制：为证明各区之间气流运动方向正确，也就是从洁净区向洁净度差的区域流动，必须检测：

(1)各区间的压差正确;

(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确，即从洁净区向洁净程度差的区域流动。

电子厂无尘车间规定

1、电子厂净化车间垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%,

否则就是局部单向流了。

2、电子厂净化车间与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区。

之间的静压差不应小于5Pa。

3、电子厂净化车间内的新鲜空气量应取下列二项中的大值:

(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

(2)保证供给电子厂净化车间内每人每小时的新鲜空气不小于40m3。

(3)电子厂净化车间净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应

无尘车间静电的危害

静电放电

    (1)元器件的绝缘氧化膜被击穿，引线被烧断或线间熔断。

若***带上10KV(100PF)的静电荷，触摸器件脚时发生ESD，其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A(10~100s)，不要说高密度，细线径，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都会遭受损坏。

一般说器件绝缘栅SiO2薄膜的耐压场强是E=(5-10)×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000，其器件输入脚施加50V-100V以上的静电压就将会被击穿，而***带静电超过50V、100V是极平常的。

    (2)造成噪声、发射电磁波干扰!

ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当于电路中几伏的能量，频率跨越几MH2甚几百MH2的强大噪声，可能引起元器件损坏，设备和传感器不正常工作，甚至引起设备死机。