比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。净化车间的建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封走廊。它使洁净区与外界有了一个缓冲地带。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整,不设置窗台。负压密封,FFU送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从净化车间向静压箱泄漏,不会形成对净化车间的污染。
净化车间FFU:当使用FFU的时侯,净化车间的吊顶被分成了若干模块,每个模块就是一个FFU,这样我们可以通过调节每个模块(即FFU)来满足吊顶上部送风静压箱的压力平衡的要求,从而大大降低了对该静压箱高度的要求。同时可以节省巨大的送、回风管,故可节省安装空间。尤其是在改造工程受到层高限制时,FFU有效地解决了这一问题。电话和火警设备不能少,在无尘净化车间工程厂房设置电话,对讲电话,可以减少人员在洁净区走动,减少发尘量,也可在万一发生火灾时及时与外部联系,也为正常工作联系创造条件。此外,无尘净化车间还应设置火灾报警系统,防止火情不易被外部发现而造成重大经济损失。连续速度调节控制:此系统连续速度调节控制与多档开关控制方式相比,多了一个连续速度调节器,使FFU风机转速连续可调,但同时也牺牲了电机效率,使其能耗比多档开关控制方式还要高。
由于高1级别的净化车间(如百级间)需要百级甚至十级层流罩用以解决工艺需求,洁净室吊顶上部将设立一个个巨大的送风静压箱,静压箱内设立通风机,这些静压箱连同送风管、回风管占据了很大的空间,使得维修空间变的狭小,有时甚至影响消防通道的使用。此系统只包括FFU自带的一个调速开关和一个电源开关。由于控制元件为FFU自带,分布在洁净室吊顶内的各个位置,工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节FFU,控制起来极不方便,而且FFU的风速可调范围有限,于几档。采用多档开关控制方式优点是控制简单、成本低,但存在许多缺陷,比如能耗大、不能平滑调速、
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