洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作;4.静电放电的发光可导致照相肢片等感光***;5.静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞,纺纱线纷乱,印刷品深浅不均和制品污染;静电事故的产生主要在于静电的产生和积累,而气流的流动,气流和管道、风口、过滤器等摩擦,***和衣服的摩擦,衣服之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所有选些都可能产生静电,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),由于电荷产生后不易流动,因此表现为越容易带电。静电问题所以在洁净室中特别严重,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率,都极易产生静电和集聚静电,在洁净室的静电灾害未被重视以前,这些材料料是被广泛采用的。
1、自动化控制,单人单吹风淋室系统采用PLC智能化的控制手段,控制面板上LED显示屏可正确显示风淋的运行状态、双门的互锁状态、风淋周期进度和开门状态。并设有光电感应器,单向通道风淋室,从非洁净区进入,关门后红外线感应到人就吹淋,吹淋后入门锁闭,只能从出门走出风淋室;
2、单人单吹风淋室主板软键触按式时间继电器,LED显示及设置吹淋时间,范围在10-99s可调,可根据风淋室外部环境的差异调节吹淋时间;
3、模块式结构,单人单吹风淋室箱体采用模块化设计方案;
4、、高密封,采用进口电子元器件,运行性能稳定可靠 ,***的减噪静音装置系统及采用EVA密封材料,密闭性能高。