洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。2.地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。4.送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。

1、自动化控制，单人单吹风淋室系统采用PLC智能化的控制手段，控制面板上LED显示屏可正确显示风淋的运行状态、双门的互锁状态、风淋周期进度和开门状态。并设有光电感应器，单向通道风淋室，从非洁净区进入，关门后红外线感应到人就吹淋，吹淋后入门锁闭，只能从出门走出风淋室；

　　2、单人单吹风淋室主板软键触按式时间继电器，LED显示及设置吹淋时间，范围在10-99s可调,可根据风淋室外部环境的差异调节吹淋时间；

　　3、模块式结构，单人单吹风淋室箱体采用模块化设计方案；

　　4、、高密封，采用进口电子元器件，运行性能稳定可靠 ，***的减噪静音装置系统及采用EVA密封材料，密闭性能高。