东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司，是将派瑞林（PA-RYLENE）高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性：防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。

真空镀膜机低真空抽气的基本要求是高工作压力和大风量，但对抽速的要求不如高真空机组。因此，镀膜机的低真空抽气机通常用作粗真空室。低真空泵通常采用罗茨泵、分子筛吸附泵、油蒸汽喷射泵、蒸汽喷射泵、水环泵、往复泵、油封泵等，这些常见的低真空泵除了罗茨泵和蒸汽喷射泵不能直接排放到大气中，其他泵可以直接排放到大气中。

真空镀膜机市场应用广泛，设备应用广泛，主要应用于汽车反光网、工艺品、首饰、鞋帽、挂钟、灯具、装饰等行业。主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备组成。

影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?

气体不均匀性的影响

一般来说气体不均匀可以由两种情况产生，一种是送气不均匀，另一种就是抽气不均匀。正常抽气情况指的是真空室内的孪生靶两端对称抽气，可认为是均匀抽气；而前分子泵关和后分子泵关则是一端抽气，属于不均匀抽气。由于都是均匀送气不均匀抽气，真空室内的气体就不均匀了。很显然前分子泵关只开后分子泵时，气压从前到后逐渐减小，而后分子泵关只开前分子泵时，气压从后到前逐渐减小。实验得到的膜厚考虑磁场的影响后也正与气压变化相符。

真空镀膜机器设备的主泵形式分成二种，各自为有油真空泵和无油超滤装置，这二种系统软件的工作中形式全是不一样的；有机油超滤装置基本上是以油扩散泵为主泵，前面泵选用真空泵或是罗茨真空泵。我们知道，油扩散泵的工作压力方向较为大，与此同时抽真空速度十分的高，可以做到每秒钟十几万升。

无油超滤装置是应用分子泵和低温泵做为主泵的，其特性关键集中化在可以持续很多抽真空，能够得到清理无油的极高真空泵。