真空镀膜加工的基本技能要求

5、离子镀堆积源的规划应尽可能提高镀膜过程中的离化率，提高镀膜资料的利用率，合理匹配堆积源的功率，合理布置堆积源在真空室体的位置。

6、合理布置加热设备，一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。

7、工件架应与真空室体绝缘，工件架的规划应使工件膜层均匀。

8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有***非正常放电设备，维持作业稳定。

真空镀膜加工中环保的说明

三、与金属件结合强度高 一般强度在350-450MPa自然状态下不起皮、不脱落。即可保持金属基件原有的机械性能，又 增加了镀件的耐磨性、耐腐蚀性。

四、耐腐蚀性强 金属件经表面处理后，由于表面形成了一种非晶态镀膜层，因为无晶界，所以抗腐蚀性能 优良。例如：在5%HCI中，含P质量分数为10.9%镍磷合金镀层的耐腐蚀层比ICr18Ni9Ti不锈钢还高出10%HCI中则高出20倍以上。

       电子束蒸发镀是将蒸发材料放入水冷铜坩锅中，直接利用电子束加热，使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面形成膜，是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点，特别适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。

       优点：

       1、电子束轰击热源的束流密度高，能获得远比电阻加热源更大的能量密度。

       2、由于被蒸发材料是置于水冷坩锅内，因而可避免容器材料的蒸发，以及容器材料与蒸镀材料之间的反应，这对提高镀膜的纯度极为重要。

       3、热量可直接加到蒸镀材料的表面，因而热效率较高热传导和热辐射的损失少。