真空镀膜设备由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。这样，零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发，影响真空镀膜设备的极限压力和性能稳定性。此外，污染物在大气压下吸附了大量的气体，在真空环境中，这些气体也要被释放出来，构成了限制真空镀膜设备极限压力的因素。为此，零件组装前必须清除掉污染物。

东莞拉奇纳米科技有限公司,是将派瑞林(parylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:无细孔、防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。

真空镀膜设备能通过利用电阻加热，若电阻要加热，真空镀膜设备所使用的材料包括石墨、钨、钽、钼、镍铬等，真空镀膜设备加热后要进行保温，真空镀膜设备设置了保温层就可以提高加热的效率，以免真空镀膜设备的热量快速散失，一般有金属保温层和复合保温层两种形式。

真空镀膜设备的不断完善、大型化和连续化，以及涂料涂装技术的发展，可获得结合力好、耐磨性强、光亮度高的装饰性镀层。国外在执手、铰链等一些配件表面，采用真空镀Au、Ag、Al、Zr、TiN、lCrl8Ni9等，而获得综合性能的外表面，使执手、铰链等这些单一功能性配件成为具有使用功能和装饰双重性能的配件。

　机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要运用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在运用，这篇文章首要介绍)四种类型。