真空镀膜设备由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。

真空镀膜设备在使用过程中，零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。例如:真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;真空镀膜设备真空抽气机组的机械泵油更是污染源，设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能，应注意随时清除。

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。维护真空镀膜机不可少的一个环节，当发现真空镀膜机腔体漏气的时候，能及时排查处理，显得非常得重要。一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生，当抽气系统抽气后使真空室内压强下降，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，造成真空度下降。

产品电镀的前处理工艺非常重要。传统工艺一般采用酸性溶液处理工件，环境污染严重，工作环境恶劣。缺点是结构复杂的零件酸洗除锈后的残酸难以清洗。

工件短时间电镀后，沿缝隙发生腐蚀，***电镀层表面，严重影响产品外观和内部质量。将超声波清洗技术应用于电镀前处理后，不仅能使物体表面和缝隙上的污垢迅速脱落，而且电镀件的电镀层牢固，不会生锈。