真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要分支，它已广泛地应用于光学、电子学、能源开发，理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、表面科学以及科学研究等领域中。真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。首先，被镀膜材料表面肯定是有灰尘的，在尽量减小材料表面灰尘的前提下，我们还应当注意以下几点：1、真空镀膜设备使用一段时间后，必须要对设备进行清洁维护。此外还有化学气相沉积法。如果真空镀膜的目的是为了改变物质表面的物理、化学性能，则这一技术又是真空镀膜处理技术中的重要组成部分。

LED真空镀膜设备

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、分子束外延镀膜机和激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。未来真空镀膜设备行业等制造业将以信息化融合为，依靠技术进步，更加注重技术能力积累，制造偏向服务型，向世界真空镀膜设备行业等制造业价值链挺进。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。

真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀的产品品质。加工件进入镀膜室前一定要做到认真的镀前清洁处理。

真空镀膜设备主要由真空腔、抽气系统、蒸发系统、成膜控制系统等组件构成。

真空镀膜设备选购要点分析如下：

根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、多弧离子镀等。

真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

真空镀膜设备膜层表面有水迹、***及灰粒：(1)镀件清洗后未充分干燥。应加强镀前处理。(2)镀件表面溅上水珠或唾液。应加强文明生产，操作者应带口罩。膜厚决定于蒸发专源的蒸发速率和时间（或决定于装料量），并与源和基片的距离有关。(3)涂底漆后手接触过镀件，表面留下***。应严禁用手接触镀件表面。(4)涂料中有颗粒物。应过滤涂料或更换涂料。(5)静电除尘失效或喷涂和固化环境中有颗粒灰尘。应更换除尘器，并保持工作环境的清洁。