真空镀膜设备应用十分广泛，如今在我们的生活中到处可见，是必不可少的一项技术。但是真空镀膜设备在使用一段时间后，表面就会留下灰尘影响真空镀膜的整体效果。

那么如何处理真空镀膜的灰尘呢？

1、设备使用的源材料要符合必要的纯度要求。

2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。

3、真空镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理。

4、真空镀膜清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求。

5、真空镀膜适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。

6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等，要有专门的服装。

由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响，因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘，应该在使用中注意以上几点来尽量避免，除此也要注意经常清洗，避免灰尘越积越多。

镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，分子束外延，激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。

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材料经过真空镀膜机镀膜之前，都是要进行清洗的，也就是大家目前常说的真空清洗工艺，真空镀膜机真空清洗一般定义为在真空工艺进行前，先从工件或系统材料表面清除所不期望的物质的过程。真空区域划分低真空105Pa-102Pa中真空102Pa-10-1Pa高真空10-1Pa-10-5Pa超高真空10-5Pa-10-9Pa极高真空<。真空零部件的表面清洗处理是很必要的，因为由污染物所造成的气体、蒸气源会使真空系统不能获得所要求的真空度。此外，由于污染物的存在，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。