派瑞林CVD工艺产生许多区分聚对和湿涂层的性能优势。与液体方法相比，Parylene具有显著的应用优势比浸渍，喷雾等使用方法，表面张力和重力影响会影响湿涂层方法，限制了均匀覆盖所有部件表面的能力。CVD产生均匀，无，气密且均匀的覆盖所有表面的气态聚对，包括小的角落或裂缝，尖锐的边缘或表面波纹。

       Parylene保形涂层在当今的电子产品中发挥着至关重要的作用，它具有出色的缝隙和多层渗透性，的阻隔性能，低渗透性气体和湿气，抗紫外线性和极高的热稳定性。Parylene涂层越来越多地被用于提高创新和复杂技术的可靠性.因为它能够在特定条件下，在特定时期内提供可靠的保护。

       派瑞林涂层特性包含抗酸碱腐蚀、耐(不溶于任何普通溶剂)。经派瑞林涂敷后的液位传感器即便在有腐蚀性的环境中工作，也能够有效的起到很好的阻隔作用，真正意义上完成对液态传感器的防腐蚀效果。

       液位传感器在工作的过程中很容易挂上水珠或其他液体，这样就会影响准确的测试数据。而派瑞林涂层刚好具备疏水的效果，疏水角约92°，很好的防止水珠或其他液体挂壁。

       派瑞林（Parylene）是一种具有化学惰性又有良好的生物相容性高纯涂层材料，已经通过美国FDA认可，用于各类体内植入，经它涂敷的器件可改善表面润滑型、生物相容性、提高可靠性。派瑞林（Parylene）的生物兼容性及其生物稳定性使其能够提供良好的防潮、防化学和介电保护。涂敷薄膜的摩擦系数低，因而可以应用于需要润滑的地方。

       派瑞林（Parylene）是这些***组装方式的防护材料。派瑞林（Parylene）活性分子的良好穿透能力在元件内部，底部、周围形成无气隙的防护层。优良的防潮、防***和耐溶剂性能优良的介电绝缘性能、微米级的精密制作、极薄的膜层仍具极优的电性能、物理机械性能和防腐蚀功能。电子产品体积越来越小，越来越复杂，派瑞林（Parylene）共形涂敷能够提供超薄无防护来保证元件的可靠性和使用寿命。

        Parylene的特性之一是它们可以形成极薄的膜层。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有一定的关系。图3画出了相关的曲线。对于5个微米（0.0002inch）以下的薄膜,这方面的性能ParyleneC要强于ParyleneN。这些数据表明，两种Parylene材料都具有很好的绝缘性能，即使厚度小于1个微米。随着厚度的减小，单位厚度的击穿电压一般将升高。

       Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。