江门纳米涂层模具货真价实 菱威派瑞林镀膜厂家
作者:菱威纳米2022/4/26 4:26:17






       Parylene作为可植入材料,主要是由于材料本身良好的生物相容性。生物体内复杂的体液环境,会腐蚀大多数的MEMS和微电子材料,然而却不会影响Parylene,这是由于Parylene不会在体液环境下被水降解。Parylene作为植入微电极阵列和微器件的包装材料,实验报***有很好的生物性容性和生物稳定性,能够长期植入生物体中,此外,由于其良好的防渗透性,能够很好地保护微器件不被腐蚀。同时,Parylene对细胞有很小的毒性,这使它有可能成为细胞生长的平台。Parylene以其优异的生物相容性(美国FD***I级认证)和生物稳定性,作为体内长期植入使用的生物材料,已经被用于心脏起搏器、脑电极、植入式传感器和高频***刀等微型电子器械和可植入微系统中。


       派瑞林(PARYLENE)用的真空气相沉积工艺制备,由活性小分子在基材外观"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层,它能涂敷到各种外形的外观,包括尖锐的棱边,裂缝里和内外观。这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层,厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有的电绝缘性和防护性,是现代有用的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。

       派瑞林材料是一种很好的介电材料,具有非常低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数。它是所有PARYLENE中穿透能力高的一种,有很好的自润滑性,摩擦系数为0.25。符合ISO-10993生物试验要求,符合UDP第六类塑料的生物试验要求。




        Parylene的特性之一是它们可以形成极薄的膜层。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有一定的关系。图3画出了相关的曲线。对于5个微米(0.0002inch)以下的薄膜,这方面的性能ParyleneC要强于ParyleneN。这些数据表明,两种Parylene材料都具有很好的绝缘性能,即使厚度小于1个微米。随着厚度的减小,单位厚度的击穿电压一般将升高。

       Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。




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