汽相沉积制备Parylene主要分三步,首先是二聚物原料在蒸发腔内在150℃升华,二聚物气体进入裂解腔在680℃左右的温度下,二聚物分子的分子键被断开,产生活性的 Parylene单体,Parylene单体分子被送到室温( 25℃ )的真空沉积室里在器件的表面上聚合沉积。当 Parylene单体在真空里汽相沉积时,它会产生真正均匀的涂层。
Parylene 薄膜本身是无色透明且极为纯净和惰性的高聚物,几乎不能与外界已知的其他物质发生反应,合理的使用这种材料,能为我们的产品提供大的绝缘和隔离保护。
Parylene涂层作为一种高分子复合材料,以其优异的性能和防护级别,成为各类传感器防护材料的。因Parylene涂层能耐酸碱和,对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔能力,同时,Parylene涂层很薄(几微米甚至可以做到几百纳米),对传感器的灵敏度影响很小。
Parylene涂层通过气相沉积方式在传感器表面形成一层无、均匀且致密的膜层,大大提高了在恶劣环境中的适应性和可靠性。目前已有四千万种以上的传感器用Parylene做防护涂层,可用于微波、射频、声学、压电、辐射、化学、温度等各类传感器,其中有汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物用传感器等。经Parylene封装的CMOS器件浸入海水中300天以上仍能正常工作。
散热风扇电子部分经过parylene纳米镀膜,使其可达到防潮、防水、防尘、耐酸碱、耐高电压的绝缘效果,能够达到IP等级的相关要求,是目前为止较好的防水防潮处理方式。派瑞林纳米防水,致密无,防护效果可以解决。
作为电子电路的防护涂层,Parylene不需另加防霉剂,本身防霉能达零级。在盐雾实验中,与其它涂层相比,Parylene防护的电路电阻几乎不下降,其它涂层则都有较大的下降。
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