汽相沉积制备Parylene主要分三步，首先是二聚物原料在蒸发腔内在150℃升华，二聚物气体进入裂解腔在680℃左右的温度下，二聚物分子的分子键被断开，产生活性的 Parylene单体，Parylene单体分子被送到室温（ 25℃ ）的真空沉积室里在器件的表面上聚合沉积。当 Parylene单体在真空里汽相沉积时，它会产生真正均匀的涂层。

       Parylene 薄膜本身是无色透明且极为纯净和惰性的高聚物，几乎不能与外界已知的其他物质发生反应，合理的使用这种材料，能为我们的产品提供大的绝缘和隔离保护。  

       随着LED和固态照明行业的蓬勃发展，产品开发商正在将技术应用到恶劣环境中（如工业照明、建筑照明、海洋环境等），那么使用涂层保护LED和电路组件成了必然。为了在LED显示屏顶部进行保护，使用的涂层须具有良好的透明度，并且在所需环境中在产品的整个使用寿命内一直保持清晰。

       Parylene涂层采用du特的真空气相沉积工艺制备，厚度可控的0.1-100微米薄膜涂层，厚度薄而均匀，且具有非常低的水汽透过率。对于潮湿和盐雾环境中使用的LED，提供了的防护等级。即便是在经常浸入水中、化学飞溅以及腐蚀性气体的环境中。

        随着印制电路组件日益向小型化和高密度方向发展，给印制电路组件的三防措施提出了新的要求。存在于传统三防之中的涂层厚且不均、棱角处涂层较薄、介电强度不够、有和气泡等弊端尤为突出。

　　另外，Parylene涂层厚度较薄（通常为25um）,对电路板表面绝缘电阻影响不大，且对元器件工作时所产生的热量消散也非常有利。另外由于分子结构对称性较好，使它在较高的频率下仍有较小的介质损耗和介电常数，它的这种高频低损耗特性使它为高频微波电路的可靠防护创造了条件。

       对于电子产品防腐蚀处理，常见的一般为传统的三防处理。传统三防材料一般是通过喷涂或电镀的方式来完成的，常见的传统三防材料有聚氨酯、环氧树脂、UV胶、有机硅、类，这些材料分子颗粒较大，喷涂之后形成的膜层不够致密，很容易让有腐蚀性的液体或气体分子进入，腐蚀金属表面，影响正常工作。

　　Parylene涂层是在室温下在元件上自发形成的，不需要经升温固化过程，不需要对基材施加室温以上的温度和时间来让膜生长。Parylene有高的机械强度和低的摩擦系数，这二者的结合使Parylene成为对小型绕线伤害元件的绝缘层。