科技的不断创新和发展,高度集成成为了许多行业的发展趋势,真空镀膜设备行业更是如此,随着真空技术的发展、真空镀膜的高以及传统电镀对环境的污染迫使真空镀膜成为了主流,在近十几年来,我国的真空镀膜设备因企业的大量需求而迅速发展。随着科技和经济的提升,各种类型各种镀膜工艺的真空镀膜设备在不断的增加,其功能也越来越完善。
真空镀膜设备普遍应用于工业生产,无论是小产品还是大产品、金属制品还是塑胶制品、亦或者陶瓷、芯片、电路板、玻璃等产品,基本上所有需要进行表面处理镀膜的都需要用到。在镀膜方式上,比较普遍的是采用蒸发镀或者磁控溅射镀或者离子镀,在控制技术上,更多的应用***的计算机技术和微电子技术,使得真空镀膜设备更具性和智能自动化。
对于电子产品防腐蚀处理,常见的一般为传统的三防处理。传统三防材料一般是通过喷涂或电镀的方式来完成的,常见的传统三防材料有聚氨酯、环氧树脂、UV胶、有机硅、类,这些材料分子颗粒较大,喷涂之后形成的膜层不够致密,很容易让有腐蚀性的液体或气体分子进入,腐蚀金属表面,影响正常工作。
作为电子电路的防护涂层,Parylene不需另加防霉剂,本身防霉能达零级。在盐雾实验中,与其它涂层相比,Parylene防护的电路电阻几乎不下降,其它涂层则都有较大的下降。很薄的Parylene涂层能提供优异的防护性能,还有利于电路板工作热量的消散,因此作为防护涂层Parylene能使电路具有更高的可靠性,特别是小型高密集度电子电路的防护,Parylene更显示出其到的优势。
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
派瑞林涂层能耐酸碱和,对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔能力,同时,派瑞林涂层很薄(几微米甚至可以做到几百纳米),对传感器的灵敏度影响很小,目前被各类传感器作为材料。
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