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作者:菱威纳米2021/11/24 5:50:10






陶瓷绝缘涂料耐温600℃以下,采用无机-有机聚合物基料,体积电阻率高、结构紧密的无机晶体材料组成,如氧化铝、氮化硅等为填料,以陶瓷微粒为高温成膜物为主,组成耐高温绝缘涂料。在生产过程中严格控制原材料配比,避免杂散离子,尤其碱金属或碱土金属离子的引入;尽量减少玻璃相的含量,并尽量降低为改善工艺性能而加入的玻璃相的导电率。在生产过程中,还注意严格控制引入铁,钴等可变价金属离子,以免产生自由离子和空穴。



        首先采用深反应离子刻蚀制作微通道,然后沉积派瑞林涂层C在微通道上,同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上,在其上制作金电极,在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合,剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放(Parylene)涂层微通道。通过控制(Parylene)涂层沉积的厚度,可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道,同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法,可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道,并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道,同时可以重复使用硅模,普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳,湿气及气体渗透性极低,具高屏障效果,抗酸碱性。


       钕铁硼稀土磁性材料是一种问世不久的新型强磁材料。近年来在小型马达、汽车电子,工具、扬声器、电力工具等方面应用发展很快。但钕铁硼稀土磁性材料弱点是容易被空气中的水分及氧气所腐蚀,因此必须有一个的防护涂层钕铁硼稀土磁性材料才有使用价值。

       Parylene涂层不仅有优异的介电性能、低的介质损耗和高的介电强度,同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。Parylene如此高的介电强度主要归功于Parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。



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