贵州硅片除气装置生产厂家服务介绍「科创真空」
作者:科创真空2022/9/7 12:41:58
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸:①②号宽1050x高200x深700mm  ③号宽1050x高380x深700mm;

2. 极限真空度:2×10-5Pa;

3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除气功能,±3℃;

4. 整体结构型式:泵箱一体,三个腔室;

5. 观察窗:每一个箱室均配一个Φ100观察窗,材质为石英玻璃,透光好;

6. 控制方式:一室一泵配置,自动保持真空,可手动***控制工作;

7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,并停止设备运行的功能。



真空除气储存柜通过以下技术方案得以实现

一种真空除气存储柜,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。



真空除气储存柜

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可***工作。

加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用99刚玉陶瓷,发热体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢(310S)板材料,并且焊接多道加强筋以保证不变形。


本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方,环境温度是5-35℃,环境湿度是35%~65%的相对湿度;且要保持放置处长期通风良好的位置。

请小心将物品放入机台,关上箱门,检查是否密闭。试验结速后,站侧面打开箱门,以免热气烫到面部。



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