硅片除气装置价格在线咨询「科创真空」
作者:科创真空2022/7/18 14:15:18
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空除气储存柜设备简介

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可***工作。具备以下主要功能:

1. 对储存箱室抽真空;

2. 控制储存箱室恒压稳定;

3. 具备加热烘烤功能;

4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能;

5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能;

6. 具备自动和手动两种操作模式;

7. PLC控制,触摸屏操作



真空除气储存柜设备用途 

本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。

机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。

真空除气储存柜设备主要应用于金属材料与非金属材料的高真空热处理。主要应用行业与工艺:半导体硅片除气;3D打印金属工件与合金材料的高真空热处理;X射线管高真空除气。



真空除气储存柜的放置

本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方,环境温度是5-35℃,环境湿度是35%~65%的相对湿度;且要保持放置处长期通风良好的位置。使用前注意电压是否正确,仅适用机台上所标示之电压,避免电过量,而使电线走火.请勿置于潮湿之场所,请勿直接用水冲洗,以防漏电;

请小心将物品放入机台,关上箱门,检查是否密闭。试验结速后,站侧面打开箱门,以免热气烫到面部。



真空除气炉、真空存储柜的质保

设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可***工作。

设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括:(1)在正常情况下,在保修期间内非人为因素引起的一切设备质量问题和自然磨损;(2)备品备件清单,供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。(3)在保修期内由需方使用不当造成的维修,只收需方的材料费。



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