用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好，然而由于氢一方面有 ***，另- -方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产:大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低，所以很少采用。

氦质谱检漏仪

钟罩法

将氦质谱检漏仪与试件用真空橡皮管连接，在试件上用密闭的容器罩住，在容器里充入氦气，检漏仪开始检漏，如果试件有漏点，仪器就可以显示其漏率;这种方法可以测量液体储料罐的漏率，在罐体外罩氦罩采用塑料薄膜，对罐体进行粗抽和预抽，在用标准漏孔校对检漏仪，对氦罩进行充氦，就可以测出罐体的漏率

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氦检漏设备

负压法

负压法是一种常见而方便的检漏方法。当进行氦气检漏时，氦被连接到充满氦气的瓶子中，并且使用喷将氦喷射到泄漏部分。如果氦气从泄漏孔流入压力容器装置，装置中氦气的分压将上升，泄漏率将显示在氦气检漏设备上。真空箱式氦检漏设备适用对各类被检要求气密性漏率的产品（以下简称工件）进行真空法检漏。它是否合格取决于标准泄漏率。如果超过标准泄漏率，将被视为不合格。

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