北京硅片除气装置厂家承诺守信 北京科创真空
作者:科创真空2022/6/9 19:43:11
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空除气炉的构成介绍

本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。

机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。

真空箱室单元由真空箱、真空测量装置、加热烘烤组件、管道阀门等组成。

真空箱:采用304不锈钢材质制造,分为上中下三个***的真空箱室,其内表面在加工后经除油、电抛光处理,保证了较少的藏气,提高了真空箱室的抽空效率和极限真空。真空箱室外部有加强筋,保证真空箱室承压能力。每个真空箱室门中间部位各具有一个Φ100石英观察窗,真空箱室与真空获得系统采用柔性软管连接,方便快捷,并减少震动。真空箱室开门为上中下三开门,氟胶圈型式密封,向右侧侧开门。


真空测量装置:采用复合真空计,使测量更加准确。

加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。

管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了必要的物质基础。

真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。

前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。

分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。



真空除气炉、真空存储柜的使用环境

使用环境

① 设备占地面积约:长2米,宽1.6米(约3.2平米)高1.95米;

② 电源:380 V±38 V,50 Hz±0.5 Hz,约15KW(外部电源用户自备);

③ 工件要求:无油污,无腐蚀性物质;

④ 环境温度:   5 ℃ ~ 35 ℃;

⑤ 相对湿度:  20%-85%;

⑥ 设备应安装在通风良好的厂房内。



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