硅片除气装置公司承诺守信「科创真空」
作者:科创真空2022/5/20 6:00:59
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空除气炉的构成介绍

真空测量装置:采用复合真空计,使测量更加准确。

加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。

管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了必要的物质基础。

真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。

前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。

分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。



真空除气储存柜的使用

1、真空除气装置,真空除气炉报价,在抽真空之前放置好产品、关闭箱室门,然后启动抽真空,加热系统持续不间断渐热。真空除气炉公司,达到设定真空度时,保持加热并持续保持真空度,设定工艺完成后,自动停止抽真空,加热系统关闭。当进入维持真空模式时,低于下限的时候自动启动;(启动为抽真空、停止为停止真空泵工作、解压为需要把真空破空)

2、真空度设定操作见操作说明书,用不到的功能禁止调整。

3、试验时间完成后,自动破空,破空完成后,方可开门取出产品。



真空除气炉、真空存储柜的使用环境

使用环境

① 设备占地面积约:长2米,宽1.6米(约3.2平米)高1.95米;

② 电源:380 V±38 V,50 Hz±0.5 Hz,约15KW(外部电源用户自备);

③ 工件要求:无油污,无腐蚀性物质;

④ 环境温度:   5 ℃ ~ 35 ℃;

⑤ 相对湿度:  20%-85%;

⑥ 设备应安装在通风良好的厂房内。



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