真空除气储存柜技术参数

1. 腔室内尺寸：①②号宽1050x高200x深700mm  ③号宽1050x高380x深700mm；

2. 极限真空度：2×10-5Pa；

3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除气功能，±3℃；

4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；

5. 观察窗：每一个箱室均配一个Φ100观察窗，材质为石英玻璃，透光好；

6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动***控制工作；

7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。

硅片除气装置原理

工作中旋转的转子将吹入铝水中的惰性气体（氮气）破碎成大量的弥散气泡，并使其分散在铝液中；气泡在熔液中靠气体分压差和表面吸附原理，吸收熔液中的氢，吸附氧化夹渣，并随气泡上升而被带出熔液表面，使熔液得以净化；由于气泡细小弥散，与旋转熔液均匀混合，并随之转动呈螺旋形缓慢上浮，与熔液接触时不会形成连续直线上升产生的气流，从而显著提高了净化效果。 气和氮气都可以作为对铝液进行除气。

真空除气储存柜操作

1、首先把机台与真空泵管道接好；

2、接上与机台电源相符的空开或插座，请注意电源一定要相符；

3、打开电源开关，电源正常时，仪表通电正常显示，打开电源开关后 ，电源指示不亮， 检查电源故障；

4、打开计时器开关，计时器通电后请设定好需要计时单位及数据，时间达到后同时有报警功能，时间达到后需要报警功能，请打开报警开关，若不需要常关闭；（注：此时间控制抽真空，时间达到停止抽真空）。

真空除气储存柜的处理

经常听一听机台的运转时的声音是否与平常一致，如有听到异常声音，停机查看，如操作人员现场不能解决，请立既来电到***服务部，让***人员检修；请勿置于潮湿之场所，请勿直接用水冲洗，以防漏电；

机台在正常设定所要温度或真空值后，在工作过程中，不要随便再去修改设定值，无关人员或不懂操作人员不要去操作温控仪表或真空表的设定。